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六维压电纳米位移台 ║P685S

产品参数
运动轴 X,Y,Z,θx,θy,θz
行程 500μm10mrad
结构类型 机构放大式并联结构

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六维压电纳米位移台 ║P685S是采用压电陶瓷驱动的六维并联式压电陶瓷定位平台,六维压电纳米位移台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电陶瓷平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电平台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。压电陶瓷定位平台内部采用并联式结构设计 , 结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构,并联结构有着更轻的质量,更低的惯量和更高的动态性。中空式设计,且中央通孔较大,可更好的适用于显微及扫描系统中。


典型应用:扫描显微镜(SPM) • 干涉 • 计量 • 掩模/晶圆定位 • 度量衡学 • 生物技术 • 显微光学 • 激光技术 • 微操作等。

六维压电纳米台运动轴示意图


内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹,具有优异的防潮特性,避免漏电流增大造成故障,可实现无故障运行1000亿个循环。


零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。


并联运动实现高动态多轴操作
在多轴并联运动定位系统中,所有促动器作用于单一个运动平台。所有轴都被设计成具有相同的动态特性,从而显著减小移动质量。即所有轴都具有最小的质量惯性和相同的动态性,可实现快速、高动态和高精密的运动。六并联系统即六轴用于在六个自由度上(即三条线性轴和三条旋转轴)实现负载的移动和精准定位、校准以及移置

                                                                                                    

◆ 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度;

● 扫描显微镜

◆ 无摩擦柔性铰链并联导向可实现极高的运动精度;

● 超分辨率显微镜

◆ 高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命;

● 生物技术

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。

● 掩模/晶圆定位


● 样本定位


● 干涉测量


● 计量

                                                                              

                         

型号

P681S

P683S

P685S

P68*

单位

公差

主动轴

X,Y,Z,θx,θy,θz

X,Y,Z,θx,θy,θz

X,Y,Z,θx,θy,θz

同S版

-

-

运动和定位







传感器类型

SGS

SGS

SGS

-

-

-

最大行程[-20V~+150V]

150x150x150

300x300x300

500x500x500

同S版

μm

±20%

标称行程[0V~+120V]

北京赛车pk10投注120x120x120

240x240x240

400x400x400

同S版

μm

±20%

最大偏转角度[-20V~+150V]

3x3x2.4

6x6x4。8

10x10x8

同S版

mrad

±20%

标称偏转角度[0V~+120V]

2.4x2.4x2

4。8x4。8x4

8x8x6.4

同S版

mrad

±20%

分辨率@X,Y,Z

1.5

3

5

同S版

nm

typ.

分辨率@θX,θY,θZ

0.03

0。06

0.1

同S版

µrad

typ.

闭环线性度

0.12

0.12

0。12

-

%F。S。

typ.

重复定位精度

0.015

0.015

0。015

-

%F。S。

typ.

机械特性







运动方向刚度@X,Y,Z

1.2/1.2/1.2

0.8/0.8/0.8

0.4/0.4/0.4

同S版

N/μm

±20%

空载谐振频率@X,Y,Z

140/140/290

90/90/170

50/50/90

同S版

Hz

±20%

运动方向推/拉力

120/30

120/30

70/30

同S版

N

Max.

承载能力

50

50

50

同S版

N

Max。

其他







工作温度

-20~80

-20~80

-20~80

同S版

-

材质

铝,钢

铝,钢

铝,钢

同S版

-

-

外形尺寸

175x175x35

175x175x35

175x175x35

同S版

mm

-

通光孔径

75x75

75x75

75x75

同S版

mm

-

重量

2。4

2.45

2.5

同S版

Kg

±5%

线缆长度

1.5

1。5

1.5

同S版

m

±10mm

连接器类型

LEMO│D-Sub9

LEMO│D-Sub9

LEMO│D-Sub9

同S版

-

-

注:最大驱动电压为-20V...+150V;长期使用建议驱动电压为0V...+120V。

专业知识与技术

  • 超高精度全并联式柔性铰链导向系统

    突出优势:独特的超高精度全并联式柔性铰链导向系统。研生科技设计开发的并联式柔性铰链导向结构技术已成功转化为系列化产品,并广泛应用于各相关应用领域……

    10-10
  • 柔性铰链导向放大结构

    北京赛车pk10投注在纳米定位技术中,柔性铰链导向系统可实现高达几毫米的定位任务。柔性铰链的运动基于固体的弹性变形。这避免了静态、滚动或滑动摩擦,其优点是高刚性、高承载和耐磨性。柔性铰链无需维护,可使用非磁性材料制造,不需要润滑剂或消耗品,因此可在真空环境下工作。压电陶瓷促动器的行程也可通过集成杠杆机构增加。促动器被机械地集成在柔性铰链结构内,行程可扩展至2 mm。由于简单的杠杆结构会使系统失去了相当数量的指导精度和刚度,所以需要设计更复杂的柔性铰链导向结构。柔性铰链可实现超高路径精度的运动。为了补偿高速或横向偏移,研生公司开发出了多种特殊的复合式多连杆柔性导向结构。这些导向系统应用于各类纳米级精密定位系统中,可实现在亚纳米或微弧度范围内的运动精度。

    03-06
  • 压电陶瓷促动器(二)

    压电陶瓷堆叠型促动器的位移通常可达几十微米,最大可达几百微米。柔性铰链导向结构可通过设计,使其作用原理如同一根机械杠杆,对压电陶瓷促动器的位移进行机械放大,必要时将促动器引导至一个不同的方向上。杠杆放大系统的设计十分严苛:一方面,其应防止侧向偏移,另一方面,其应始终沿直线进行导向,杠杆通常是通过一个枢轴点进行引导。此外,行程的增大将导致刚度减小。柔性铰链导向可通过设计,使其进一步集成无需额外导向。柔性铰链结构是用作导向和杠杆系统,在具有更高集成度的压电陶瓷系统中作用也是如此。

    02-28
  • 并联运动压电陶瓷定位系统

    在多轴并联系统中,所有促动器直接作用于单一运动平台。这意味着可以为所有轴设计相同的动态特性,从而大幅降低移动质量。优势:并联运动系统可比串行堆叠或嵌套系统设计得更紧凑。单个轴的误差和质量不会累积。由于最小化质量惯性,并联运动系统可提供多达6个水平的自由度和所有轴的高动态。多轴并联运动允许使用直接平行计量,测量所有有关固定参考的移动平台的自由度。例如,由于力的作用而意外的串扰进入不同轴,因此可检测并实时纠正。这种积极的实时校准即使在动态运行时,也可实现纳米范围内的运动精度。

    02-20
了解更多

Piezo•Nano•Positioning

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