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二维压电扫描台 ║P400

产品参数
运动轴 X,Y
行程 18μm
分辨率 0.1nm
外形尺寸 58x52x10mm
中空尺寸 25.5x23mm
结构类型 机构直驱式结构

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二维压电扫描台 ║P400是采用压电陶瓷驱动的压电红外纳米扫描器,压电扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,红外纳米扫描器具有极佳的运动精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。


压电红外扫描器内部采用并联式结构设计,结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构,并联结构有着更轻的质量,更低的惯量和更高的动态性。中空式设计,且中央通孔较大,可更好的集成于红外热成像扫描系统中。压电透镜扫描台被广泛应用于红外热成像系统、激光定位、表面扫描、光学扫描、干涉测量等领域。

◆ 外形尺寸:58x52x10mm,中空尺寸:25.5x23mm

◆ 行程为18µm,分辨率为0.1nm;

◆ 采用无摩擦高精度并联式柔性铰链导向系统,质量更轻,惯量更低,动态性更高;

◆ 内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;

◆ 默认提供开环版本,可定制闭环版本;

◆ 可提供各种运动行程、外形尺寸、中空尺寸版本。

专业知识与技术

  • 研生首创,国际技术领先:独特的超高精度全并联式柔性铰链导向系统

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